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J-GLOBAL ID：201702252553852380   整理番号：17A0759445

固相結晶化によるガラス基板上に成長させた多結晶NbO_2薄膜の構造的,電気的,および光学的性質【Powered by NICT】

Structural, electrical, and optical properties of polycrystalline NbO₂ thin films grown on glass substrates by solid phase crystallization

著者 (6件)： Nakao Shoichiro (Kanagawa Academy of Science and Technology (KAST), 3-2-1 Sakado, Takatsu-ku, 213-0012, Kawasaki, Japan) ,  Kamisaka Hideyuki (Department of Chemistry, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, 113-8654, Tokyo, Japan) ,  Hirose Yasushi (Kanagawa Academy of Science and Technology (KAST), 3-2-1 Sakado, Takatsu-ku, 213-0012, Kawasaki, Japan) ,  Hirose Yasushi (Department of Chemistry, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, 113-8654, Tokyo, Japan) ,  Hasegawa Tetsuya (Kanagawa Academy of Science and Technology (KAST), 3-2-1 Sakado, Takatsu-ku, 213-0012, Kawasaki, Japan) ,  Hasegawa Tetsuya (Department of Chemistry, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, 113-8654, Tokyo, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214  号： 3  ページ： ROMBUNNO.201600604  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス基板上への多結晶NbO_2薄膜の構造的,電気的,および光学的性質を調べた。NbO_2膜は種々の酸素分圧(P_O2)でパルスレーザ蒸着により成長させた非晶質前駆体膜から結晶化した。前駆体膜の電気的および光学的特性を系統的にP_O2と共に変化し,前駆体膜の酸素含有量はP_O2により細かく制御することができることを示した。前駆体を600°Cで真空下でのアニーリングによる多結晶NbO_2膜に結晶化した。NbO_2膜は分岐パターンを持つ非常に平坦な表面を有していた。最適化も膜は,2×10~2Ωcmの低抵抗率(ρ),1×10~4Ωcmのバルク値よりも非常に低いを示し,おそらくバルクNbO_2結晶のそれと比較して膜の劣った結晶性のためである。酸素過剰と不足の両方NbO_2膜は化学量論的膜のそれよりもρが低かった。最高ρとNbO_2膜は0.7eVの間接バンドギャップを示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  化学量論 ,  *多結晶 ,  *結晶 ,  パルスレーザ蒸着 ,  焼なまし ,  *薄膜 ,  結晶度 ,  非晶質 ,  *結晶化 ,  *光学的性質 ,  前駆体
準シソーラス用語： 間接バンドギャップ ,  酸素分圧 ,  *ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 膜 ,  NbO2 ,  酸素非化学量論性 ,  パルスレーザ蒸着 ,  resistivity ,  固相結晶化

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 固相 ,  結晶化 ,  ガラス基板 ,  成長 ,  多結晶 ,  薄膜 ,  光学的性質