文献

J-GLOBAL ID：201702252576423096   整理番号：17A1760918

縦結合導波路のための多層積層全ゾル-ゲル製造法

A Multi-Layer Stacked All Sol-Gel Fabrication Technique for Vertical Coupled Waveguide

著者 (4件)： IDRIS Ahmad Syahrin (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  GHOSH Sampad (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  JIANG Haisong (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  HAMAMOTO Kiichi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Evergreen  (Evergreen)
巻： 4  号： 2/3  ページ： 12-17  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： L8216B  ISSN： 2189-0420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バルクシリコン上に多層が縦に積層される全ゾル-ゲル作製技術を平面導波路から3次元構造への縦結合を実現するために提案する。全ゾル-ゲル製造技術は,ZnOゾル-ゲルコア層と,SiO₂ゾル-ゲル被覆及びコア分離槽を積層する機能を実現する。ゾル-ゲルに基づいた製造の主要な問題点は,ゾル-ゲル層上にクラックができることであり,これらは光レジスト除去器を用いたSiO₂表面クリーニングに加えて,500°C温度のアニーリング後1°C/分のゆっくりした冷却過程により改善された。その結果,300nmのZnOコア層厚と1.5μmのSiO₂被覆/コア分離層厚を持つ多層が縦に積層された構造をバルクSi上に製造することに成功した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *導波路 ,  *多層構造 ,  *ゾル-ゲル法 ,  二酸化ケイ素 ,  酸化亜鉛 ,  光ファイバ
準シソーラス用語： マルチコアファイバ

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (22件)：

• T. Morioka, OptoElectronics and Communications Conference, 9 (2009).
• D. J. Richardson,, J. M. Fini, & L. E. Nelson, Nat. Photonics, 7, 1 (2013).
• T. Watanabe & Y. Kokubun, IET Optoelectron., 9, 158 (2015).
• T. Yoshida, S. Tajima, R. Takei, M. Mori, N. Miura, & Y. Sakakibara, Opt. Express, 23, 29449 (2015).
• K. Kirita, & F. Koyama, LEOS Annual Meeting Conference Proceedings, 477 (2009).

タイトルに関連する用語 (6件)： 縦 ,  導波路 ,  多層 ,  ゾル ,  ゲル ,  製造法