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J-GLOBAL ID:201702252914467283   整理番号:17A0847911

エラストマーナノ薄膜のドライ転写を用いたMEMS光干渉型表面応力センサ

An elastomer-based MEMS optical interferometric surface-stress sensor developed by dry transfer technique
著者 (5件):
資料名:
巻: BMS-17  号: 19-31  ページ: 25-29  発行年: 2017年06月29日 
JST資料番号: L6187A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (4件):
分類
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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  ,  分析機器  ,  干渉測定と干渉計  ,  固体デバイス製造技術一般 

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