文献

J-GLOBAL ID：201702253000096993   整理番号：17A1555707

Czochralskiプロセスにおける状態推定器としての直径の制御サブシステムの組合せKL SVDベース一次元モード制御【Powered by NICT】

KL-SVD Based One-Dimensional Modal Control Combining with Diameter Control Subsystem as State Estimator in Czochralski Process

著者 (4件)： Jing Xueting ,  Li Hongxin ,  Lei Jing ,  Yang Nan
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IHMSC  ページ： 189-192  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Czochralski(CZ)単結晶シリコン工業制御プロセスは非線形分布定数系(DPS)である。は複雑な空間-時間結合とinfinitedimensional特性のため,この問題を解決するために異常なことは困難である。本論文では,三次元(3D)温度場の軸対称平面,主作業領域における熱流動を示すに選択した外側に軸方向結晶化点から一次元(1D)熱経路。K-L分解と特異値分解(SVD)手段は減次一次元モデルのための空間-時間の支配的なモードを捕捉し,未知の分布定数システムの設計フィードバックコントローラへの便利な基盤を提供することを同定するために使用される一般的なである。しかし,労働条件のために,センサの数は限られている,より状態判断誤差を得ることは困難である,温度分布が妥当であるかどうかを判断する状態推定器として直径制御サブシステム。この方法は集中定数系(LPS)よりも良好な精度を持っていた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *一次元 ,  特異値分解 ,  三次元 ,  集中定数系 ,  温度場 ,  *状態推定 ,  軸方向 ,  センサ ,  軸対称性 ,  分布定数系 ,  温度分布 ,  作業空間
準シソーラス用語： 熱流動 ,  *モード制御 ,  *サブシステム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 化学プロセスの解析  (XC01030R) ,  システム同定  (IA02040O)

タイトルに関連する用語 (6件)： プロセス ,  状態推定 ,  直径 ,  サブシステム ,  組合せ ,  モード制御