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J-GLOBAL ID：201702253044708838   整理番号：17A1235849

ナノメートルスケール元素マッピングに向けた超伝導トンネル接合アレイ検出器を用いたエネルギー分散型X線分光分析器の開発【Powered by NICT】

Development of an energy-dispersive X-ray spectroscopy analyzer employing superconducting tunnel junction array detectors toward nanometer-scale elemental mapping

著者 (4件)： Fujii Go (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki, 305-8568, Japan) ,  Ukibe Masahiro (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki, 305-8568, Japan) ,  Shiki Shigetomo (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki, 305-8568, Japan) ,  Ohkubo Masataka (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki, 305-8568, Japan)
資料名： X-Ray Spectrometry  (X-Ray Spectrometry)
巻： 46  号： 5  ページ： 325-329  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0456B  ISSN： 0049-8246  CODEN： XRSPAX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導トンネル接合(STJ)に基づくエネルギー分散X線検出器は約1keV以下のエネルギー準位だけでなく大有感面積(>1 mm~2)と高計数率能力(>500 kcps)と軟X線の半値幅約5eVの最上のエネルギー分解能で示した。高エネルギー分解パワー元素マッピングを実現するために走査型電子顕微鏡とSTJと組み合わせたエネルギー分散X線分光分析器を開発した。蛍光X線の捕集効率を改善するために,ポリキャピラリー平行X線レンズは分析器に設置した。分析器の全体システム効率は軟X線領域における1×10~ 4Sr以上であった。N-Kα線への計数率性能は9.4cps/nA,電子プローブマイクロアナライザ及び波長分散X線スペクトロメータ(WDS)から成るセットアップに近い。X線光学系を改善することにより,計数率は600倍以上増加することを期待されている。開発した分析器のエネルギー分解能はN-Kαピークの半値全幅10eVであると測定され,シリコンドリフト検出器(SDD)を用いた通常のX線分光分析器のそれより約7倍より良いエネルギー分解能を示した全幅に従って評価した。これらの結果は,STJを用いて,改善された分析器はSDDの高スループットとWDSの高エネルギー分解能の両方を実現できることを示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *X線分光分析 ,  X線スペクトロメータ ,  固有X線 ,  軟X線 ,  X線検出器 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー準位 ,  エネルギー分解能 ,  *エネルギー散逸 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  計数率 ,  FWHM ,  *分析機器
準シソーラス用語： *元素マッピング ,  *超伝導トンネル接合 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： Josephson接合・素子  (BM04043E)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノメートルスケール ,  元素マッピング ,  超伝導トンネル接合 ,  アレイ ,  検出器 ,  分析器 ,  開発