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J-GLOBAL ID：201702253076242709   整理番号：17A1021117

ガスセンシングのためのPLD成長させたWO_3薄膜の特性評価【Powered by NICT】

Characterization of PLD grown WO₃ thin films for gas sensing

著者 (11件)： Boyadjiev Stefan I. (Institute of Solid State Physics, Bulgarian Academy of Sciences, 72 Tzarigradsko chaussee blvd., Sofia, BG-1784, Bulgaria) ,  Boyadjiev Stefan I. (MTA-BME Technical Analytical Chemistry Research Group, Szent Gellert ter 4, Budapest, H-1111, Hungary) ,  Georgieva Velichka (Institute of Solid State Physics, Bulgarian Academy of Sciences, 72 Tzarigradsko chaussee blvd., Sofia, BG-1784, Bulgaria) ,  Stefan Nicolaie (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Stan George E. (National Institute of Materials Physics, 405A Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Mihailescu Natalia (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Visan Anita (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Mihailescu Ion N. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Besleaga Cristina (National Institute of Materials Physics, 405A Atomistilor Street, Magurele, Ilfov, RO-077125, Romania) ,  Szilagyi Imre M. (MTA-BME Technical Analytical Chemistry Research Group, Szent Gellert ter 4, Budapest, H-1111, Hungary) ,  Szilagyi Imre M. (Budapest University of Technology and Economics, Department of Inorganic and Analytical Chemistry, Szent Gellert ter 4, Budapest, H-1111, Hungary)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 417  ページ： 218-223  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三酸化タングステン(WO_3)薄膜は,ガスセンサに適用する目的で,パルスレーザ蒸着(PLD)により成長させた。膜を原子間力顕微鏡(A FM),X線回折(XRD),Fourier変換赤外(FTIR)分光法及び形状測定により研究した。これらWO_3膜のガスセンシング挙動を研究するために,水晶振動子上に析出させ,水晶微量天秤(QCM)法は,それらのガス感度を解析するために適用した。主に単斜晶WO_3相を持つターゲットから出発して正方晶WO_3膜の合成が観察された。300°Cで堆積した膜は収着特性に有利な表面トポロジーを示し,突出したクレータ/空胴をもつフィルムマトリックスから成っていた。そのような膜のQCMプロトタイプセンサはNO_2検出に対して試験した。PLD成長させたWO_3薄膜は良好な感度と室温で速い反応,堆積したままの状態でもを示した。提示した技術により,水晶振動子ガスセンサの製造は単純で迅速で費用効率が高く,環境変化のオンラインモニタリングのためのエネルギー効率の良い携帯機器にも適している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： エネルギー効率 ,  X線回折 ,  ガスセンサ ,  正方晶系 ,  Fourier変換 ,  *薄膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  収着 ,  形状測定 ,  *キャラクタリゼーション ,  単斜晶系 ,  原子間力顕微鏡 ,  位相幾何学 ,  水晶振動子
準シソーラス用語： 三酸化タングステン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ガスセンサ ,  水晶微量天秤 ,  パルスレーザ蒸着 ,  薄膜 ,  WO_3

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： PLD ,  成長 ,  薄膜 ,  特性評価