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J-GLOBAL ID:201702253145956174   整理番号:17A1631922

原子間力顕微鏡のためのデータ駆動型制御器の設計【Powered by NICT】

Data-Driven Controller Design for Atomic-Force Microscopy
著者 (4件):
資料名:
巻: 50  号:ページ: 10437-10442  発行年: 2017年 
JST資料番号: W3101A  ISSN: 2405-8963  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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H_2とH∞性能目標をもつデータ駆動,固定構造コントローラを設計する新しい方法を示した。制御設計問題は線形行列不等式制約,標準ソルバを用いて効率的に解くことができると凸最適化問題に変換した。法は原子間力顕微鏡のためのデータ駆動型制御器の設計に用いた。計算コントローラの閉ループ性能を実装置で確認された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  システム設計・解析 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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