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J-GLOBAL ID:201702253590291111   整理番号:17A0547888

フェムト秒レーザーによるシリコン表面へのプラズモニック近接場の励起とアブレーション形状変化の観測

著者 (2件):
資料名:
巻: 64th  ページ: ROMBUNNO.14p-512-1  発行年: 2017年03月01日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (4件):
分類
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固体デバイス材料  ,  レーザの応用  ,  特殊加工  ,  半導体の表面構造 

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