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J-GLOBAL ID：201702254371990225   整理番号：17A1850249

高温動的圧力センサと実験分析研究【JST・京大機械翻訳】

High temperature dynamic pressure sensor and experimental analysis

著者 (7件)： Re Heman・aibibuli (新疆交通職業技術学院 汽車与机電工程学院,烏魯木斉,831401) ,  Wang Hongyan (陜西省計量科学研究院,西安,710065) ,  Xue Fangzheng (西北核技術研究所,西安,710024) ,  Huang Linya (西安交通大学 机械制造系統工程国家重点実験室,微納制造与測試技術国際合作聯合実験室,蘇州納米科技協同創新中心,西安 710049) ,  Huang Mimi (西安交通大学 机械制造系統工程国家重点実験室,微納制造与測試技術国際合作聯合実験室,蘇州納米科技協同創新中心,西安 710049) ,  Yu Mingzhi (西安交通大学 机械制造系統工程国家重点実験室,微納制造与測試技術国際合作聯合実験室,蘇州納米科技協同創新中心,西安 710049) ,  Zhao Libo (西安交通大学 机械制造系統工程国家重点実験室,微納制造与測試技術国際合作聯合実験室,蘇州納米科技協同創新中心,西安 710049)
資料名： Shiyan Liuti Lixue  (Shiyan Liuti Lixue)
巻： 31  号： 2  ページ： 44-50  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2417A  ISSN： 1672-9897  CODEN： SLLHAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロ機械電子システム(MEMS)とシリコン分離(Silicon on Insulator)を採用した。敏感な抵抗とシリコン基板との間のシリカ分離を用いて,120°C以上の温度での力感受性チップの動作安定性と信頼性の問題を解決した。均一な機械的パッケージ構造を設計し,管腔効果の影響を回避し,センサの動的応答周波数を増加させた。静的および動的性能のキャリブレーション実験を行い,静的実験温度を250°Cに設定し,センサの基本的性能パラメータを得て,センサの不確実性を解析した...........................................................のセンサの性能を分析した。このセンサの基本誤差は±0.114%FS(Full Scale,全行程),不確定度は0.01794mVと計算され,センサの熱零点ドリフトと熱感度ドリフト指標が得られた。動的性能実験によって得られたセンサの応答周波数は555.6kHzであり,実験結果は,MEMS圧力センサが高い精度と固有振動数を有することを示した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 二酸化ケイ素 ,  *センサ ,  固有振動数 ,  信頼性 ,  周波数 ,  *圧力センサ ,  *動圧 ,  不確実性 ,  MEMS ,  マイクロマシン ,  熱感度 ,  動的応答 ,  電子装置 ,  ドリフト
準シソーラス用語： シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  SOI inverted cup-type sensitive chip ,  flush-type ,  high frequency ,  uncertainty

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 動的圧力 ,  実験 ,  分析 ,  研究