抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ウエハステージ(WS)に基づく音声コイルモータ(VCM)の全ディジタル駆動方法を提案した。,VCMの数学的モードを与え,2レベル駆動における電流リプルを解析した;,電流リップルを減少させるために,3レベル駆動を提唱し,異なる電流状態が得られる,電流リップルを定量的に分析し,電流ループは自由度(2DOF)制御法の二度に基づいて設計した。フィードフォワード制御は2自由度における電流ループ帯域幅を改善するのに使用され,VCM力リプルとハードウェアドリフトを含む誤差は補償される最後に,全ディジタル駆動実験プラットフォームを構築し,方法の実現可能性を,実験とシミュレーションによって検証する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】