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J-GLOBAL ID:201702254581605477   整理番号:17A1836345

中赤外集積フォトニクスのための強誘電性チタン酸バリウム【Powered by NICT】

Ferroelectric barium titanate for mid-infrared integrated photonics
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: NANO  ページ: 569-571  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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チタン酸バリウム(BaTiO3)薄膜を用いた中赤外(mid-IR)フォトニックは相補型金属酸化膜半導体(CMOS)過程を通して実証した。BaTiO3薄膜は波長2.5μm波長7μmまでの広い赤外透過率を示した。導波路は広い中赤外領域にわたる基本モードを示した。広い中赤外透明性と電気光学(E O)特性を用いて,BaTiO3プラットフォームは,高速光回路のための望まれる中赤外マイクロフォトニクスを可能にするであろう。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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