文献

J-GLOBAL ID：201702254630359346   整理番号：17A1724403

メカニカル共振光パワーメータ【Powered by NICT】

A micromechanical resonant optical power meter

著者 (5件)： Chen Xuan (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Pu Dong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Zhang Tianyi (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Wei Xueyong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EFTF IFCS  ページ： 656-659  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロディスク共振器を用いたマイクロメカニカル光パワーメータの新しい種類を提案した。共振器の表面に照射したレーザパワーの変化に伴い,マイクロメカニカル共振器の共振周波数は,その体温変化のためにドリフトする。シミュレーションの結果は実験データによって検証した。レーザパワーと共振周波数との間の線形関係は,開ループと閉ループ実験によって得られた。検出可能な最小光パワーは0.98μWであることが分かった。光パワーが変化した場合に検出器の応答時間は0.3s以下であった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 線形性 ,  レーザ出力 ,  *共振 ,  検出器 ,  応答時間 ,  共振器 ,  *光量計 ,  共振周波数
準シソーラス用語： マイクロディスク共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 共振 ,  光パワーメータ