文献

J-GLOBAL ID：201702254978299021   整理番号：17A1076868

RFスパッターZnO薄膜の,構造,モルフォロジ,光学,導波路特性に与える,厚さ,アニーリング,基板の効果

Thickness, annealing and substrate effects on structural, morphological, optical and waveguiding properties of RF sputtered ZnO thin films

著者 (4件)： NAMOUNE A. (Univ. Badji Mokhtar-Annaba, Annaba, DZA) ,  TOUAM T. (Univ. Badji Mokhtar-Annaba, Annaba, DZA) ,  TOUAM T. (Univ. de Setif, Setif, DZA) ,  CHELOUCHE A. (Univ. de Bejaia, Bejaiea, DZA)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 16  ページ： 12207-12219  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さの異なるZnO薄膜をRFマグネトロンスパッタリングでガラスとSiO₂/Si基板に制作し,膜厚,ポストデポジションアニーリング,基板の種類が構造,モルフォロジ,光学,導波路特性に与える効果を調べた。すべてのZnO薄膜は六方晶ウルツ鉱構造であり,(002)に優先配向している。薄膜の構造特性は基板タイプに影響され,膜厚とアニーリング温度で改善される。SiO₂/Si基板にデポジットしたZnO薄膜の方がガラス上のものよりも結晶性が良く,結晶サイズが大きくて圧縮応力が小さい。UV-Vis透過率は膜厚に拘わらずアニーリング温度で増加する。結晶サイズが6から19.3nmになると光学バンドギャップは3.22から3.28eVに増加し,圧縮応力は6.86から0.08GPaに減少する。波長632.8nmでのMライン分光測定で,ZnO平面導波路は単一および多重井戸閉じ込めTEとTM導波モードをサポートする。薄膜の屈折率は膜厚や基板種類に関係していない。SiO₂/Si基板で60分成長したZnO平面導波路の伝搬損失は1.3±0.2dB/cmである。

シソーラス用語： *RFスパッタリング ,  薄膜 ,  モルフォロジー ,  構造特性 ,  光学的性質 ,  導波路 ,  温度 ,  効果 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  透過率 ,  光学ギャップ ,  圧縮応力 ,  平面導波路 ,  屈折率 ,  損失 ,  画像 ,  スペクトル
準シソーラス用語： SEM画像 ,  *ZnO薄膜 ,  *アニーリング温度 ,  ウルツ鉱構造 ,  *基板効果 ,  光学バンドギャップ ,  伝搬損失 ,  透過スペクトル

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFスパッター ,  ZnO薄膜 ,  モルフォロジ ,  光学 ,  導波路 ,  アニーリング