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J-GLOBAL ID：201702255404045656   整理番号：17A0998106

環境条件下での応用のためのゼオライトに基づく湿度センサ【Powered by NICT】

Humidity sensor based on zeolite for application under environmental conditions

著者 (6件)： Alcantara G.P. (Department of Engineering Chemical from State University of Maringa, Parana, Brazil) ,  Alcantara G.P. (School of Electrical and Computer Engineering of University of Campinas, Campinas, Brazil) ,  Ribeiro L.E.B. (School of Electrical and Computer Engineering of University of Campinas, Campinas, Brazil) ,  Alves A.F. (Department of Engineering Chemical from State University of Maringa, Parana, Brazil) ,  Andrade C.M.G. (Department of Engineering Chemical from State University of Maringa, Parana, Brazil) ,  Fruett F. (School of Electrical and Computer Engineering of University of Campinas, Campinas, Brazil)
資料名： Microporous and Mesoporous Materials  (Microporous and Mesoporous Materials)
巻： 247  ページ： 38-45  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0642C  ISSN： 1387-1811  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,二種類のゼオライトをベースとした湿度センサを評価した。最初のケースでは,交差指形容量式センサ(IDC S)はAl_2O_3セラミック基板の表面上に作製した,20μmの電極ギャップを使用して,Si/Al比1.28のLTA(Lind型A)ゼオライトの膜で被覆した。複素インピーダンス分光法(IS)はセンサ応答,交差指電極の静電容量の変化と,ゼオライトの電気的性質を測定するために用いた。ゼオライトベースのセンサはセンサ応答に及ぼす湿度と温度の変化の影響を特性化した。結果は,このセンサは非常に低い含水量(N_2におけるH_2Oの最大300ppmv)で検出可能な静電容量変化を提供し,25から100°Cの温度範囲で,したがって水分微量測定に適していることを示した。研究の第二部では,ZSM-5(Zeolite Socony Mobil 5)ゼオライトに基づく湿度センサの評価を行った。くし形静電容量型センサは,Al_2O_3セラミック基板の表面上に作製した,20μmの電極ギャップであり,ZSM-5膜で被覆した。結果はセンサが良好な性能(検出限界~7.32%RH)が可能であり,広い範囲の環境条件(~39% RH 96% RH)の下での使用に適していた,ポリイミド(検出限界は20%RH)とTiO_2(10%から30%RHまで検出限界)のような他の材料に基づくセンサと比較して示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ポリイミド ,  キャラクタリゼーション ,  櫛形 ,  静電容量 ,  含水量 ,  ZSM-5 ,  電気的性質 ,  *湿度センサ ,  検出限界 ,  *湿度 ,  *センサ
準シソーラス用語： 交差指電極 ,  電極ギャップ ,  セラミック基板 ,  *環境条件 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 交差指形キャパシタ ,  湿度センシング ,  センサ ,  ゼオライト ,  LTA ,  ZSM-5 ,  環境条件

分類 (2件)： 合成鉱物  (CD01040K) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 環境条件 ,  応用 ,  ゼオライト ,  湿度センサ