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J-GLOBAL ID：201702255411863008   整理番号：17A1505926

ポリマ基板上に堆積した柔軟な窒化鉄ナノ薄膜の腐食,光学的および磁気的性質【Powered by NICT】

Corrosion, optical and magnetic properties of flexible iron nitride nano thin films deposited on polymer substrate

著者 (4件)： Khan W.Q. (College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China) ,  Wang Qun (College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China) ,  Jin Xin (College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China) ,  Yasin G. (College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Chemical Technology, Beijing 100029, China)
資料名： Physica B. Condensed Matter  (Physica B. Condensed Matter)
巻： 524  ページ： 71-80  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0676B  ISSN： 0921-4526  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる組成と厚さの鉄窒化物薄膜は,窒素流量を変えて反応性マグネトロンスパッタリングによりAr/N_2大気中の屈曲性重合体基板上に堆積した。ナノ構造膜を,X線回折,UV-可視分光光度計,電気化学インピーダンス(EIS),原子間力顕微鏡(A FM)および透過型電子顕微鏡法によって特性化した。被覆と成長条件へのそれらの機能的性質の依存性を詳細に調べた。薄膜は200MHzから1GHzまでの周波数範囲で均一な透過性を示し,明らかな変化なしにこの範囲で使用できることが分かった。窒素流速の低下は,透過品質と腐食抵抗を増加させるより滑らかな表面をもたらした。機能特性は,窒化鉄相の相対的濃度と膜厚に依存する。膜は非常に緻密で開放細孔から自由であるように見えるので,表面完全性は優れたfor180nm厚の試料である。110Wで安定なスパッタリングパワーに保つことにより,窒素流量10sccmのは室温で強磁性γ′Fe_4N相を開発するために最適であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *薄膜 ,  耐食性 ,  キャラクタリゼーション ,  電気化学インピーダンス ,  窒素 ,  ナノ構造 ,  *鉄 ,  原子間力顕微鏡 ,  流量 ,  膜厚 ,  X線回折 ,  窒化物 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *ナノシート
準シソーラス用語： *ナノ薄膜 ,  *窒化鉄 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 窒化鉄 ,  マグネトロンスパッタリング ,  フレキシブル基板 ,  電気化学的インピーダンス分光法 ,  透磁率 ,  A FM

分類 (4件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： ポリマ ,  堆積 ,  窒化鉄 ,  ナノ薄膜 ,  腐食 ,  光学 ,  磁気的性質