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J-GLOBAL ID：201702255463749946   整理番号：17A0514094

増強された空間分解能を持つイメージング分光反射率計による不均一な薄膜の局所的厚さの決定

Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution

著者 (6件)： VODAK J (Brno Univ. Technol., Brno, CZE) ,  VODAK J (Masaryk Univ., Brno, CZE) ,  NECAS D (Masaryk Univ., Brno, CZE) ,  OHLIDAL M (Brno Univ. Technol., Brno, CZE) ,  OHLIDAL M (VSB-Technical Univ. Ostrava, Ostrava, CZE) ,  OHLIDAL I (Masaryk Univ., Brno, CZE)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 2  ページ： 025205,1-6  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜は様々な用途に応用されている。高品質の薄膜を作成したり,品質を検査するために,欠陥も含めて薄膜全体の特性を評価する必要がある。欠陥は,薄膜の性質に著しい影響を与える。最も顕著な欠陥の1つに,厚さの不均一性がある。従来の検査法では,局所的な不均一性が平均化されてしまうために,任意形状の薄膜の厚さの評価が困難である。本論文では,増強された空間分解能を持つイメージング分光反射率計による不均一な薄膜の局所的厚さの測定法を報告する。システムの設計,マッピング法によるデータ収集など示した。このシステムを用いて,高勾配の不均一性を持つ薄膜を評価する能力を確認した。従来の装置との性能比較も行った。

シソーラス用語： 空間分解能 ,  スペクトロスコピー ,  反射率 ,  不均一性 ,  *薄膜 ,  *厚み測定 ,  写像 ,  膜厚
準シソーラス用語： イメージング分光法 ,  分光反射率 ,  *膜厚計測 ,  マッピング法

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 増強 ,  空間分解能 ,  イメージング分光 ,  反射率計 ,  薄膜 ,  厚さ