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J-GLOBAL ID：201702255695159805   整理番号：17A1345297

CMOS-MEMS走査マイクロ波顕微鏡の設計と感度の改善【Powered by NICT】

Design and Sensitivity Improvement of CMOS-MEMS Scanning Microwave Microscopes

著者 (2件)： Azizi Mostafa (Electrical Engineering Department, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Mansour Raafat R. (Electrical Engineering Department, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
資料名： IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques  (IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques)
巻： 65  号： 8  ページ： 2749-2761  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0229A  ISSN： 0018-9480  CODEN： IETMAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,統合された単一チップCMOSマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)走査型マイクロ波顕微鏡(SMM)の性能とイメージング結果を提示した。感度改善のための系統的解析を詳細に述べた。は最初,この型顕微鏡のための高感度を持つことが重要である理由を説明し,良好な感度の全構造を解析し,設計するための系統的方法を提案した。本では,正確な集中モデルは,システムの各セクションに対して導出し,比較は異なる設計を行った。各課の品質因子に基づく新しい概念は,全体システムをシミュレーションし,モデル化するために必要とせずに個々の断面の感度を改善するためのツールを設計者を述べた。高感度測定システムについても解説した。最後にいくつかの測定結果を示した。本論文で提示した分析は,CMOS-MEMS SMMであるが,どのような型SMMのに適用可能である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *走査 ,  画像処理 ,  計測システム ,  *マイクロ波 ,  高感度 ,  *CMOS ,  *顕微鏡 ,  *MEMS ,  モデリング
準シソーラス用語： 品質因子 ,  走査型マイクロ波顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： CAD,CAM  (JE10000A) ,  マイクロ波・ミリ波通信  (ND08020W)

タイトルに関連する用語 (7件)： CMOS ,  MEMS ,  走査 ,  マイクロ波 ,  顕微鏡 ,  設計 ,  感度