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J-GLOBAL ID：201702255809636448   整理番号：17A0562658

レジストを流路とするマイクロミキサを用いた拡散混合の観察と解析

Observation and Analysis of Diffusion Mixing in a Micro-Mixer with Resist Flow Paths

著者 (2件)： 堀内敏行 (東京電機大) ,  森實祐太 (東京電機大)
資料名： 電気学会光応用・視覚研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： LAV-17  号： 1-12  ページ： 1-5  発行年： 2017年02月16日 
JST資料番号： Z0953A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロ流体デバイス ,  *混合装置 ,  混合 ,  マイクロチャネル ,  制御 ,  流動 ,  その場観察 ,  拡散距離 ,  拡散係数
準シソーラス用語： *マイクロミキサ ,  マイクロ流路 ,  レジストパターン線幅コントロール ,  拡散流動 ,  流体混合

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： レジスト ,  流路 ,  マイクロミキサ ,  拡散 ,  観察 ,  解析