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J-GLOBAL ID:201702255821817952   整理番号:17A1731761

Xカットニオブ酸リチウムの懸濁薄膜に基づく低損失遅延線【Powered by NICT】

Low loss delay lines based on suspended thin film of X-cut lithium niobate
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: IUS  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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表面音響波(SAW)デバイスに基づくアナログ信号処理技術は,過去50年間に商業化されている。遅延線[1]と共振器[2]は,広い範囲の応用[3]のために実装した。小規模共振器の使用は,携帯電話事業の連続成長のためboomed,遅延線のような成分は,基地局のような小さい市場に追いやられてきたた。モノのインターネットに関連した新しい応用は,非常に低い電力と高速信号プロセッサのための必要性をもたらしている。ニオブ酸リチウム(LiNbO_3,呼ばLN)における表面音響波の最大電気機械結合(k_t~2)は5.6%であった[4]。LNの懸濁薄膜上に作製したLamb波共振器は約30%k_t~2[5]を示した。は極めて受益者遅延線を構築するためにこのような高いk_t~2を利用して。しかし,Lamb波の性質,吊るされた板を必要とするために,長い遅延を達成する重要な製造課題となっている。本研究では,この技術的課題を克服した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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弾性表面波デバイス 
タイトルに関連する用語 (5件):
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