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J-GLOBAL ID：201702255975633351   整理番号：17A1674167

多モード動的原子間力顕微鏡システム【JST・京大機械翻訳】

Multi-mode dynamic atomic force microscope system

著者 (5件)： Huang Qiangxian (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院,安徽合肥,230009) ,  Zhang Rui (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院,安徽合肥,230009) ,  Liu Kai (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院,安徽合肥,230009) ,  Zhao Yang (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院,安徽合肥,230009) ,  Zhang Liansheng (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院,安徽合肥,230009)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 25  号： 2  ページ： 401-407  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 動的原子間力顕微鏡(atomic force microscope,AFM)はカンチレバーの共鳴状態の変化を測定することにより、物体の表面形態を測定する。共鳴状態の三つの要素、即ち振幅、位相、周波数の測定を通じて、ダイナミックAFMは三つの動作モード、即ち振幅フィードバック、位相フィードバックと周波数フィードバックモードに分けられ、これら三種類のフィードバックモードは異なるスキャン特徴を持つ。シリコン片持梁は高次共振の特性を持ち,動的原子間力顕微鏡は,高周波共振状態で動作するときに,物体を走査することができる。これらの動作モードを組み合わせて、多モード動的AFMを開発し、三種類のフィードバックモード、異なる次数の共振状態で物体に対してスキャン測定を行うことができる。このシステムを異なるフィードバックモードと異なる次数の共振状態においてテストした結果,システムはサブモード分解能を有し,位相フィードバックモードにおいて,二次共振器の最適感度と分解能は,それぞれ17.5V/umと0.29nmであることが分かった。最適感度と分解能の条件下で,格子の三次元走査を行い,格子の三次元形態図を得た。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運転モード ,  走査 ,  分解能 ,  フィードバック ,  *多モード ,  ケイ素 ,  片持梁 ,  共振器 ,  *原子間力顕微鏡 ,  共振 ,  HF【周波数】 ,  位相 ,  三次元
準シソーラス用語： 次数 ,  共鳴状態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Dynamic AFM ,  amplitude feedback ,  phase feedback ,  frequency feedback ,  high-order resonance

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 多モード ,  原子間力顕微鏡