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J-GLOBAL ID：201702256270680035   整理番号：17A0591905

誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタリング堆積した腐食保護金型のためのナノ結晶性バナジウム窒化物膜

Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtered Nanocrystalline Vanadium Nitride Coatings for Corrosion Protective Molds

著者 (1件)： CHUN Sung-Yong (Mokpo National Univ., Jeonnam, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 17  号： 6  ページ： 4308-4311  発行年： 2017年06月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,誘導結合プラズマ(ICP)支援マグネトロンスパッタリングを用いて形成した腐食保護金型のためのナノ結晶バナジウム窒化物(VN)膜について報告した。内部ICP支援スパッタリング装置を使用し,13.56MHzの電力を印加することにより,基板とガス分配器の間の領域にICPを生成して,シリコンおよびAISI 420基板上にVN膜を堆積した。非接触モード原子間力顕微鏡法により,VN膜の表面粗さを調べ,電界放出型走査電子顕微鏡を用いて,微細構造を特徴付けた。室温で3.5%NaCl溶液中のポテンシオスタットシステムを用いて,腐食試験を行ったBerkovichダイヤモンド圧子を使用して,5mN荷重のナノインデンテーションによる連続剛性測定により,。膜硬度を測定した。その結果,VN膜堆積中のICP処理は,ナノ粒子サイズ,表面粗さ,および機械的特性を改善し,耐食性の点で電気化学的特性の向上をもたらした。

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *防食 ,  金型 ,  ナノ結晶 ,  *バナジウム化合物 ,  *窒化物 ,  *薄膜 ,  原子間力顕微鏡 ,  表面粗さ ,  走査電子顕微鏡 ,  微細構造 ,  直流電源 ,  定電圧電源 ,  ナノインデンテーション ,  腐食試験 ,  計測 ,  粒度 ,  機械的性質 ,  特性
準シソーラス用語： 腐食保護 ,  *窒化バナジウム ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  ポテンショスタット ,  硬度測定 ,  粒子サイズ ,  機械的特性 ,  電気化学的特性

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (9件)： 誘導結合プラズマ ,  支援 ,  マグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  腐食 ,  金型 ,  ナノ結晶 ,  バナジウム ,  窒化物膜