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J-GLOBAL ID：201702256338942589   整理番号：17A0040393

メゾスコピック領域研究の産業への展開 メゾスコピック系フローティングSiワイヤーの作製

著者 (1件)： 本橋光也 (東京電機大 工)
資料名： 月刊ファインケミカル  (ファインケミカル)
巻： 46  号： 1  ページ： 6-13  発行年： 2017年01月15日 
JST資料番号： Y0020A  ISSN： 0913-6150  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体Siウェーハの表面直下に作製した転位をもつ基板を電気分解することで,基板から電気的,光学的に絶縁されたフローティングワイヤーを作製する技術を開発した。ワイヤーの太さと長さは,転位をつくるために付けた溝の形状やサイズに依存し,その内部の結晶性はウェーハの面指数の違いで制御できることが分かった。本稿では,これらの技術について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  指数 ,  *ケイ素 ,  罫書き ,  溝 ,  転位【結晶】 ,  *細線 ,  アノード酸化 ,  炭化タングステン ,  量子細線 ,  面指数 ,  シリコンウエハ ,  格子欠陥
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  *ケイ素ワイヤ ,  フローティングワイヤ

分類 (2件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 研究 ,  産業 ,  展開 ,  メゾスコピック系 ,  Si ,  ワイヤー ,  作製