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J-GLOBAL ID：201702256570524725   整理番号：17A1187395

電子構造とTiドープITO薄膜の機械的性質に及ぼす熱処理の効果の調査【Powered by NICT】

Probing the effects of thermal treatment on the electronic structure and mechanical properties of Ti-doped ITO thin films

著者 (11件)： Taha Hatem (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering and Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia) ,  Taha Hatem (College of Ibn-Alhaitham for Pure Science, University of Baghdad, Baghdad, Iraq) ,  Henry David J. (Chemical and Metallurgical Engineering and Chemistry, School of Engineering and Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia) ,  Yin Chun-Yang (Newcastle University, Singapore, SIT Building @Ngee Ann Polytechnic, 537 Clementi Road #06-01, Singapore, 599493, Singapore) ,  Amri Amun (Department of Chemical Engineering, University of Riau, Pekanbaru, Indonesia) ,  Zhao Xiaoli (School of Engineering, Edith Cowan University, Joondalup, WA 6027, Australia) ,  Bahri Syaiful (Department of Chemical Engineering, University of Riau, Pekanbaru, Indonesia) ,  Le Minh Cam (Faculty of Chemistry, Hanoi National University of Education, Building A4, 136 Xuan Thuy Road, Cau Giay Dist., Hanoi, Viet Nam) ,  Ha Nguyen Ngoc (Faculty of Chemistry, Hanoi National University of Education, Building A4, 136 Xuan Thuy Road, Cau Giay Dist., Hanoi, Viet Nam) ,  Rahman M. Mahbubur (Department of Physics, Jahangirnagar University, Savar, Dhaka, 1342, Bangladesh) ,  Jiang Zhong-Tao (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering and Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 721  ページ： 333-346  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタンドープ酸化インジウムスズ薄膜をゾル-ゲルスピンコーティングプロセスによって合成した。表面化学結合状態と機械的性質はチタン含有量(2および4at%)およびアニーリング温度400~600°Cの範囲の100°Cの増分の関数として研究した。Raman分析は,調製した試料のためのフォノン振動を研究するために実行し,結果はITO振動モードの存在を明らかにした。膜材料の元素組成,結合状態と結合エネルギーをX線光電子分光法(XPS)法を用いて調べた。XPSの結果は,薄膜コーティングの表面上の酸素への金属元素(In, Sn, Ti)の比は薄膜の表面上の酸化物層の増加により減少することを示した。また,600°Cまでのアニーリング温度を増加させることにより,Tiの2pおよびCl2P信号は,より厚い表面酸化層による2および4at%Ti含有量,それぞれ,両者の検出はなかった。合成した膜の機械的性質はナノインデンテーション法を用いて評価した。硬度(H)と弾性率(E)の変化は,at%とアニーリング温度の異なるTiで観察された。硬さはat%Ti含有量試料6.3 6.6GPaと6.7 6.8 2GPaと4の範囲内であったが,弾性係数はat%と4at%Ti含有量2試料に対する137 143と139 143GPaの範囲内であった。最も高いHおよびEの組合せは600°Cでアニールした4%Ti含有量の試料で達成された。さらに,H/E比は4.5×10~ 2から5.0×10~ 2の範囲で妥当なレベル耐摩耗性を反映する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線光電子分光法 ,  界面化学 ,  *薄膜 ,  硬度 ,  被覆 ,  *電子構造 ,  弾性係数 ,  酸素 ,  *チタン ,  *熱処理 ,  結合エネルギー ,  酸化インジウムスズ ,  耐摩耗性 ,  *ドーピング
準シソーラス用語： アニーリング温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 透明導電性酸化物 ,  ITO ,  チタンドープした酸化インジウムすず ,  ゾル-ゲル ,  熱処理 ,  X線光電子分光法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電子構造 ,  Ti ,  ドープ ,  ITO薄膜 ,  機械的性質 ,  熱処理 ,  調査