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J-GLOBAL ID：201702256579446599   整理番号：17A1368726

レーザー誘起ドット転写による微粒子形成

Microparticle Formation by Laser-Induced Dot Transfer

著者 (6件)： 奈良崎愛子 (産業技術総合研) ,  佐藤正健 (産業技術総合研) ,  新納弘之 (産業技術総合研) ,  中田芳樹 (大阪大) ,  東海林竜也 (阪市大) ,  坪井泰之 (阪市大)
資料名： 電気学会電子材料研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EFM-17  号： 10-21  ページ： 7-10  発行年： 2017年09月19日 
JST資料番号： Z0970A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属ナノ粒子の自在描画によるナノギャップ形成,金属ナノ粒子のホモ・ヘテロ接合界面形成基盤技術の構築に取り組んでいる。レーザ誘起ドット転写(LIDT)法を金(Au)に適用した成果につき報告した。LIDT装置の構成を紹介した。高い繰り返し紫外ナノ秒パルスDPSSレーザと走査集光系を用い,マスクレスに微粒子を任意のパターンに描画できる。オンデマンド形成メカニズムを説明した。有限要素法による伝熱解析支援のプロセス最適化を採用している。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  金属 ,  *レーザ応用 ,  ドットブロット法 ,  転写印刷 ,  *半導体 ,  *酸化物 ,  方式 ,  *核形成 ,  結晶成長 ,  レーザシステム ,  *パターン形成
準シソーラス用語： オンデマンド方式 ,  レーザ誘起 ,  金属ナノ粒子

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (16件)：

• A. Narazaki, T. Sato, R. Kurosaki, and H. Niino: ′′Flexible patterning of functional microdot by laser-induced dot transfer′′, J Laser Micro/Nanoengineering, Vol.9, p.257 (2014).
• A. Narazaki, R. Kurosaki, T. Sato, and H. Niino: ′′On-demand patterning of indium tin oxide microdots by laser-induced dot transfer′′, Appl. Phys. Express, Vol.6, p.92601 (2013).
• A. Narazaki, T. Sato, R. Kurosaki, Y. Kawaguchi, and H. Niino: ′′Nano- and microdot array formation of FeSi₂ by nanosecond excimer laser-induced forward transfer′′, Appl. Phys. Express, Vol.1, p.57001 (2008).
• A. Narazaki, T. Sato, R. Kurosaki, Y. Kawaguchi, and H. Niino: ′′Laser direct-write and crystallization of FeSi₂ micro-dot array for NIR light-emitting device application′′, Proc. of SPIE, Vol.6458, p.45814 (2007).
• J. Bohandy, B. F. Kim, and F. J. Adrian: ′′Metal deposition from a supported metal film using an excimer laser′′, J. Appl. Phys., Vol.60, p.1538 (1986).

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザー誘起 ,  ドット ,  転写 ,  微粒子