抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本連載の今回は,熱式流量センサーを搭載したマスフローコントローラ(MFC)およびマスフローメータ(MFM)で測定および制御する流体に関し,特に半導体製造プロセスで使用されるガスの中から「特殊高圧ガス」に分類される7種のガスの内,モノシラン(SiH4)を中心に熱式センサータイプのMFC,MFMで使用する際の注意点を解説した。まず,常温の大気に触れることにより発火し,そのリークを止めない限り燃え続けるモノシランが引き起こした事故事例を2例紹介した。次に,このモノシランをMFC,MFMで使う場合の注意事項について触れ,よくあるミスは食い込み継手でメーカーの指導内容をよく読まずに力任せにナットを締め付け,Oリングを傷付けてしまうミスなどを取り上げた。