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J-GLOBAL ID：201702256906911072   整理番号：17A0591907

TiCrN膜の腐食挙動に及ぼす界面数の影響

The Impact of Number of Interfaces on Corrosion Behavior of TiCrN Films

著者 (2件)： ALI Fawad (Sunchon National Univ., Jeonnam, KOR) ,  KWAK Joon Seop (Sunchon National Univ., Jeonnam, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 17  号： 6  ページ： 4318-4321  発行年： 2017年06月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,同一の総膜厚を有する窒化チタンクロム(TiCrN)膜の界面数が腐食挙動に及ぼす影響について報告した。分離したチタンおよびクロムターゲットを備えた反応性マグネトロン同時スパッタリング技術を用いて,TiCrN膜を形成した。X線回折,走査型電子顕微鏡,および原子間力顕微鏡を用いて,薄膜の微細構造および形態を調べた。また,Gamry 動電位試験により,SKD61基材上のTiCrN膜の腐食挙動を測定した。更に,Alpha段差測定装置を使用して,ガラス基板上のTiCrN膜厚を測定し,接触角測定から,膜の表面エネルギーを求めた。TiCrN層数の増加に従い,多孔質で粗いTiCrN膜の表面形態が平滑な構造に移行した。その結果,著者等は,層数が3に増加した場合,TiCrN膜の耐食性が増加することを示し,耐腐食性の改善は,表面粗さの減少および微細構造の変化に起因することを示唆した。

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *クロム化合物 ,  *薄膜 ,  *挙動 ,  *腐食機構 ,  表面構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  微細構造 ,  形態 ,  ζ電位 ,  接触角 ,  表面エネルギー ,  モルフォロジー ,  表面粗さ ,  耐食性
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  *窒化クロム ,  *腐食挙動 ,  界面構造 ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  走査型電子顕微鏡 ,  界面動電位 ,  表面形態

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  腐食基礎理論,腐食試験  (WB03020Q) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (2件)： 腐食挙動 ,  界面