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J-GLOBAL ID：201702257031195798   整理番号：17A1036936

Au-Au結合と影響表面汚染に及ぼす空気曝露のためのAr+H_2大気圧プラズマ処理【Powered by NICT】

Ar+H₂ atmospheric-pressure plasma treatment for Au-Au bonding and influence of air exposure on surface contamination

著者 (5件)： Yamamoto Michitaka (Graduate School of Frontier Science, The University of Tokyo, 5-1-5 Kashinoha, Kashiwa-shi, Chiba 277-8563, Japan) ,  Higurashi Eiji (School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Suga Tadatomo (School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Sawada Renshi (Faculty of Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Itoh Toshihiro (Graduate School of Frontier Science, The University of Tokyo, 5-1-5 Kashinoha, Kashiwa-shi, Chiba 277-8563, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： LTB-3D  ページ： 64  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環境空気中でのAu-Au室温結合が表面活性化ボンディングにアルゴンと水素ガス混合物(Ar+H_2)大気圧(AP)プラズマ処理を適用することにより実証した。従来のAr低圧プラズマ処理は,1時間の空気曝露内でのみ結合強度を改善したが,Ar+H2APプラズマ処理は10時間の空気曝露後でさえも結合強度を改善した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 低圧 ,  *アルゴン ,  付着強さ ,  *大気プラズマ ,  混合気体 ,  *プラズマ処理
準シソーラス用語： 表面活性化 ,  *表面汚染 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  金属の結晶構造  (BK06000V) ,  吸着の電子論  (CB12042Y) ,  Auger電子放出,二次電子放出  (BM09040O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Au ,  表面汚染 ,  曝露 ,  大気圧プラズマ