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J-GLOBAL ID：201702257066043805   整理番号：17A0968165

トリクロロシランからの反応蒸留支援超純粋シラン製造:プロセスシミュレーションおよび最適化

Reactive Distillation-Aided Ultrapure Silane Production from Trichlorosilane: Process Simulation and Optimization

著者 (3件)： LI Xue-Gang (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  HUANG Xun (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  XIAO Wen-De (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Industrial & Engineering Chemistry Research  (Industrial & Engineering Chemistry Research)
巻： 56  号： 7  ページ： 1731-1738  発行年： 2017年02月22日 
JST資料番号： C0385C  ISSN： 0888-5885  CODEN： IECRED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エレクトロニクスおよび他の新興分野におけるより広い応用のために,トリクロロシランから99.9999%以上の超純粋シランを達成するための,二つの精製塔によって支援された反応蒸留(RD)塔による拡大手段を提供し,経済分析によって運転条件およびRD塔構成の最適化を目指した。触媒には,ジメチルアミノ基と結合したビーズ状スチレン樹脂を使用した。最適構成は,反応部と精留部との間に単一の中間凝縮器を挿入することであり,約-40°Cのオーバーヘッド凝縮温度および7~10°Cの範囲の中間凝縮温度で,82%のオーダーのオーバーヘッドシラン含有量であった。

シソーラス用語： *反応蒸留 ,  *シラン ,  *ケイ素化合物 ,  *塩化ケイ素 ,  最適化 ,  プロセスシミュレーション ,  蒸留塔 ,  凝縮器 ,  経済分析 ,  ポリスチレン
準シソーラス用語： *トリクロロシラン ,  精留塔

分類 (1件)： 蒸留,蒸発  (XD02010F)

タイトルに関連する用語 (6件)： トリクロロシラン ,  反応蒸留 ,  支援 ,  シラン ,  プロセスシミュレーション ,  最適化