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J-GLOBAL ID：201702257148430633   整理番号：17A1636612

高Q_m×K~2_t本質的にスイッチ可能なBST薄膜バルク音響共振器【Powered by NICT】

High Q_m×K²_t intrinsically switchable BST thin film bulk acoustic resonators

著者 (3件)： Koohi Milad Zolfagharloo (Department of Electrical Engineering and Computer Science University of Michigan, Ann Arbor, MI 48109, USA) ,  Lee Seungku (Department of Electrical Engineering and Computer Science University of Michigan, Ann Arbor, MI 48109, USA) ,  Mortazawi Amir (Department of Electrical Engineering and Computer Science University of Michigan, Ann Arbor, MI 48109, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IMS  ページ： 296-299  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Bao。sSro。sTiOaに基づく高Q_m×K~2_t基本モード本質的にスイッチ可能な薄膜バルク音響共振器(FBAR)は2GHzで設計し,作製した。高Q_m×K~2_t BST FBARは,低挿入損スイッチ可能なBAWフィルタの設計に必要である。BST FBARの測定結果は,電気機械結合係数(K~2_t)8.6%の共振器の機械的品質係数(Q_m)360を示した。Q_m×K~2_tは30.8であり,著者らの知る限りでは,以前に報告されたスイッチ可能なBST共振器の中で最高である。直列および並列共振周波数のための周波数(TCF)の温度係数はそれぞれ 65及び68ppm/Kであった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 挿入損 ,  並列共振 ,  *スイッチ ,  温度係数 ,  周波数 ,  フィルタ ,  基準モード ,  *共振器
準シソーラス用語： 機械的品質係数 ,  電気機械結合係数 ,  *FBAR , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (2件)： BST ,  薄膜バルク音響共振器