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J-GLOBAL ID：201702257177201228   整理番号：17A1113405

レーザ照射により修復した銅薄膜の回復変数による寿命予測法

Life prediction method of copper thin film repaired by laser irradiation based on healing variable

著者 (3件)： REN Chong-Gang (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  REN Chong-Gang (Taishan Univ., Shandong, CHN) ,  SHANG De-Guang (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN)
資料名： International Journal of Damage Mechanics  (International Journal of Damage Mechanics)
巻： 26  号： 7  ページ： 1028-1042  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： W0470A  ISSN： 1056-7895  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクス分野で奨用されている銅薄膜の寿命は繰り返えし荷重及び微小欠陥の影響を受け,その修復にレーザ照射が利用される。修復後の疲れ寿命を予測するために弾性歪及び塑性歪に基づく計算式を提案し,実験によりその妥当性を検証した。試料は両側面にU字形ノッチを付けた25μm厚の冷間圧延銅箔を使用した。疲れ試験は室温,20Hzで行った。レーザ照射にはパルスエネルギー1.2J及びパルス巾30nsの紫外エキシマガスレーザを使用し,レーザ光を試料面に垂直に照射した。種々の損傷程度の構成関係の変化を比較して修復銅箔の回復変数を定義した。この変数を解析し疲れ寿命予測法を提案した。この予測結果は実験結果とよく一致した。

シソーラス用語： *寿命予測 ,  疲れ寿命 ,  *パルスレーザ照射 ,  *銅 ,  *金属薄膜 ,  疲れ損傷 ,  *修理 ,  *係数 ,  *比率 ,  構成方程式 ,  歪 ,  塑性歪 ,  *計算モデル ,  エキシマレーザ ,  紫外レーザ
準シソーラス用語： *回復係数 ,  *欠陥修復 ,  構成関係 ,  弾性歪 ,  *疲れ寿命予測

分類 (2件)： 金属材料  (HC05020S) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ照射 ,  修復 ,  銅薄膜 ,  回復 ,  変数 ,  寿命予測