抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ホログラム表示用デバイスとして,微小な磁性体を光変調素子として用いたスピン注入型空間光変調器(スピンSLM:Spin-Spatial Light Modulator)の研究を進めている。今回,5μmおよび2μmの狭画素ピッチから成るアクティブマトリクス(AM:Active-Matrix)駆動方式スピンSLMを設計・試作した。狭画素ピッチのAM駆動スピンSLMでは,トランジスターのサイズが小さくなるために,供給可能な電流も低減する。この対策として,磁気トンネル接合素子を用いた光変調素子構造の最適化により,素子駆動の低電流化を図った。試作したスピンSLMでは,2次元アレー配置したトランジスター(シリコンバックプレーン)上に光変調素子(画素)を高精度に形成し,トランジスターからの電流制御により光変調動作ができることを確認するとともに,2次元画像表示の基本動作に成功した。この結果から,ホログラム表示に必要となる狭画素ピッチ・超多画素での動作を可能とする2次元アレー素子開発の見通しが得られた。(著者抄録)