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J-GLOBAL ID：201702257285358721   整理番号：17A0703463

誘導結合酸素と水素プラズマ処理と湿度によるTi_3C_2MXenesの伝導率の制御【Powered by NICT】

Controlling the conductivity of Ti₃C₂ MXenes by inductively coupled oxygen and hydrogen plasma treatment and humidity

著者 (7件)： Roemer Florian M. (Faculty of Physics and Center for Nanointegration (CENIDE), University of Duisburg-Essen, Lotharstr. 1, 47057 Duisburg, Germany. [e-mail]) ,  Wiedwald Ulf ,  Strusch Tanja ,  Halim Joseph ,  Mayerberger Elisa ,  Barsoum Michel W. ,  Farle Michael
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 7  号： 22  ページ： 13097-13103  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti_3C_2MXene薄膜の電気伝導度に及ぼすプラズマ処理と湿度の影響について報告した。Ti_3AlC_2粉末のLiF/HClエッチングにより作製したコロイド溶液から後者-スピンコートした面積6.8mm~2の厚さ13nmであった。真空中の水素(H)と酸素(O)プラズマに曝露した膜の変化をX線光電子分光法により分析した。膜抵抗は5.6μΩm(酸化状態)間の4.6μΩm(還元状態)へのプラズマ処理による再現性をもってスイッチできことを見出した。両状態は金属様の電気伝導率を示した。高真空中では,膜の抵抗率は243Ωであった;相対湿度は80%であったとき,膜抵抗は6340Ωに増加し,26倍増加した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： エッチング ,  *湿度 ,  *プラズマ処理 ,  電気抵抗率 ,  X線光電子分光法 ,  再現性 ,  *酸素 ,  相対湿度 ,  薄膜 ,  塩酸 ,  X線光電子スペクトル ,  電気伝導率
準シソーラス用語： 酸化状態 ,  膜抵抗 ,  *伝導率 ,  *水素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 誘導結合 ,  酸素 ,  水素プラズマ ,  湿度 ,  伝導率