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J-GLOBAL ID：201702258241576479   整理番号：17A1906993

透過He⁺イオン顕微鏡法のためのカメラ

Camera for transmission He⁺ ion microscopy

著者 (3件)： Kavanagh Karen L. (Physics Department, Simon Fraser University, Burnaby, British Columbia V5A 1S6, Canada) ,  Herrmann Christoph (Physics Department, Simon Fraser University, Burnaby, British Columbia V5A 1S6, Canada) ,  Notte John A. (Carl Zeiss Microscopy, Peabody, Massachusetts 01690)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 6  ページ： 06G902-06G902-5  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透過したHe⁺イオンと集束He⁺ビームからの原子の強度を,試料の下20cmに位置するカメラへの直接衝撃を用いて測定した。カメラは,各々55×55μm²の面積のSiのp-i-nダイオード(ピクセル)の256×256アレイから構成した。小さいde Broglie波長(80fm)とコヒーレント線源から予想されるように,静的な集束ビーム強度プロファイルは均一な分布を示した。ビームスポットのサイズからビーム収束半角を直接測定し,カラム構造に基づく理論的予測と比較することができた。静電ビームブランキングで測定した電流と比較したとき,検出器計数率は75%という効率と一致した。中性原子成分の強度プロファイルについては,25keVのビームエネルギーにおいて,17%のピークまたは1.3%の積分強度が,イオンビームと比較して測定された。50nmの非晶質炭素を透過する粒子の強度はグラファイトフレークのそれよりも小さく,厚さとチャネリングによる影響を受けると予想される。時間の関数として,グラファイト中に20nmの孔を形成する透過画像が得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *イオン ,  *ヘリウム ,  *イオン顕微鏡法 ,  *半導体検出器 ,  *集束イオンビーム ,  *グラファイト ,  画像
準シソーラス用語： ヘリウムイオン ,  *PIN半導体検出器

分類 (3件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 透過 ,  イオン顕微鏡法