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J-GLOBAL ID:201702258492728330   整理番号:17A0968822

TiO_2スロット層とその応用のナノ層移動法ハイブリッド電気光学高分子/TiO_2垂直スロット導波路変調器を製作するための【Powered by NICT】

Nanolayer-transfer method of TiO2 slot layers and its application for fabricating hybrid electro-optic polymer/TiO2 vertical slot waveguide modulators
著者 (2件):
資料名:
巻: 94  ページ: 146-153  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0245B  ISSN: 0030-3992  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ナノ層移動(NLT)と呼ばれる代替ソフトプロセス,ハイブリッド電気光学高分子/TiO_2垂直スロット導波路変調器を作製することを示した。ゾル-ゲルシリカ被覆層上の100nm厚TiO_2線パターン層を成功裏に移した,同じ時間では最大1μ幅を持つゾル-ゲルシリカ被覆層の直線導波路を作成した。ゾル-ゲルシリカ層を加水分解し,架橋した,すべての結晶が主要な優先方向に成長TiO_2の高度に配向した多結晶膜でSiO_2ネットワークを作成した。NLT法も移動TiO_2スロット層の良好な結晶化と低い光伝搬損失,EO素子変調器の実現可能性を保証するEO高分子のより高い光学モード閉じ込めを可能にする高屈折率を制御することを可能にする。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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光変調器 

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