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J-GLOBAL ID：201702258608425562   整理番号：17A1359512

全スペクトルはスケールマイクロエレクトロニクスCMOSにおける集積フォトニクス【Powered by NICT】

Full spectrum visible integrated photonics in scaled microelectronic CMOS

著者 (5件)： Atabaki A. H. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, US) ,  West G. N. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, US) ,  Mehta K. K. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, US) ,  Kramnik D. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, US) ,  Ram R. J. (Department of Electrical Engineering and Computer Science, Massachusetts Institute of Technology 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139, US)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SUM  ページ： 129-130  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,標準的な65nmマイクロエレクトロニクスCMOS300mm鋳造工場における統合電子-フォトニックプラットフォームを実証した。エレクトロニクスと並んで,著者らはマスクを用いないポストCMOSコンパチブル作製プロセスにより紫から操作NIRにシリコンアバランシェフォトダイオードと光導波路のモノリシック集積。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光導波路 ,  *マイクロエレクトロニクス ,  *スペクトル ,  *CMOS ,  *電子技術
準シソーラス用語： モノリシック集積化 ,  *フォトニクス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： スペクトル ,  スケール ,  マイクロエレクトロニクス ,  CMOS ,  集積 ,  フォトニクス