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J-GLOBAL ID：201702259101534858   整理番号：17A1036296

MOLおよびBEOL TDDBの電界加速係数抽出【Powered by NICT】

Field acceleration factor extraction in MOL and BEOL TDDB

著者 (4件)： Shen Tian (Quality and Reliability Assurance, GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020) ,  Yeap Kong Boon (Quality and Reliability Assurance, GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020) ,  Christiansen Cathryn (Quality and Reliability Assurance, GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020) ,  Justison Patrick (Quality and Reliability Assurance, GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IRPS  ページ： DG-2.1-DG-2.5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BEOL(バックエンドの線)とMOL(中部の線)時間依存絶縁破壊(TDDB)信頼性試験と大規模データ解析に基づく故障率投影法を提案し,研究した。しかし重要なモデルパラメータの一つ,電界加速係数Y_eの抽出は曖昧に定義した。十分な注意をしなければ,系統的に低いγ_Eは悲観的投影をもたらす得られるであろう。本研究では,二種の異なる抽出法と基本的な違いは,実験とモンテカルロシミュレーションの両方により系統的に調べた。つぎに提案した,より正確な信頼性計画のためにはより現実的でロバストな方法。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 曖昧さ ,  時間依存性 ,  故障率 ,  信頼性 ,  絶縁破壊 ,  *電場 ,  ロバスト性 ,  信頼性試験
準シソーラス用語： モンテカルロシミュレーション ,  モデルパラメータ ,  *TDDB ,  *BEOL , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  物理化学一般その他  (CB01030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： MoL ,  BEOL ,  TDDB ,  電界 ,  加速 ,  係数