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J-GLOBAL ID：201702259228605685   整理番号：17A0823516

離散時間スライディングモード制御を用いた圧電ポジショナの高精度トラッキング

High precision tracking of a piezoelectric positioner using a discrete-time sliding mode control

著者 (4件)： WANG Geng (Henan Polytechnic Univ., Jiaozuo, CHN) ,  ZHAO Yanru (Henan Polytechnic Univ., Jiaozuo, CHN) ,  ZHANG Yeming (Henan Polytechnic Univ., Jiaozuo, CHN) ,  CHEN Chunchao (Henan Polytechnic Univ., Jiaozuo, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 6  ページ： 1831-1839  発行年： 2017年06月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエータは,走査トンネル顕微鏡,光学走査顕微鏡,振動制御などの精密位置決め用途に広く使用されている。本稿では,圧電アクチュエータを精密に制御するために,離散時間スライディングモード制御と非対称PIモデルを融合する新しい手法を提案する。本研究の結果,以下の点が明らかになった。(1)まず,非対称ヒステリシス非線形性を緩和するために直接逆ヒステリシス補償法が用いられた。(2)ヒステリシス補償を用いた二次系に基づいて,外乱オブザーバを有する離散時間スライディングモード制御器を提案し,位置誤差を安定化させ,位置精度を改善した。(3)最終的に,提案された制御戦略の有効性を明らかにするために,未知の外乱とパラメトリックな不確かさに対する追従性能とロバスト性を検証する比較実験を実施した。

シソーラス用語： *スライディングモード制御 ,  *圧電気 ,  *位置決め装置 ,  *追跡 ,  *アクチュエータ ,  精度
準シソーラス用語： ポジショナ ,  圧電アクチュエータ ,  位置精度

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  電気量制御  (IC03020F) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： スライディングモード制御 ,  圧電 ,  ポジショナ ,  トラッキング