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J-GLOBAL ID：201702259238194431   整理番号：17A1224391

微細構造体の超精密切削加工における材料除去メカニズム -材料特性が欠陥発生に及ぼす影響-

Materials Removal Mechanisms in Fabrication of Microstructures by Using Ultraprecision Cutting -Effect of Material Properties on Chip Formation-

著者 (4件)： 小林龍一 (東北大学大学院) ,  嶋田慶太 (東北大学大学院) ,  水谷正義 (東北大学大学院) ,  厨川常元 (東北大学大学院)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 7  ページ： 687-693(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密切削加工で金型に微細構造を創成できるが,微細加工に適した材料と欠陥発生の関係の研究は少ない。本文は材料の微細切削性評価と適切な金型材料選択を可能にするため,微小加工における切削パラメータがNi-Pめっき被削性に及ぼす影響を実験研究し,先端構造の異なる複数の工具で微細構造創成実験を行い,発生した欠陥,切り屑生成領域と表面の観察によって各材料の欠陥発生メカニズムを解明した。

シソーラス用語： *切削 ,  超精密加工 ,  *金型 ,  微細構造 ,  *パラメータ ,  ニッケルめっき ,  *被削性 ,  機構
準シソーラス用語： Ni-Pめっき ,  欠陥発生メカニズム ,  *切削パラメータ ,  創成 ,  超精密切削加工

著者キーワード (10件)： burr and chipping ,  ultra-precision cutting ,  amorphous alloy ,  machinability in microfabrication ,  cutting mechanics ,  burr and chipping ,  ultra-precision cutting ,  amorphous alloy ,  machinability in microfabrication ,  cutting mechanics

分類 (2件)： 成形工程とその装置一般  (YH04030C) ,  その他の切削  (QC02040C)

引用文献 (31件)：

• 1) S. O. Reynosoet al.: Fabrication of Namib Beetle Inspired Biomimetic Amphi-phobic Surfaces Using Adsorbed Water as a Monomer, International Conference on Materials for Advanced Technologies, 141, (2016) 59.
• 2) B. K. Chao et al.: Anti-reflection textured structures by wet etching and island lithography for surface-enhanced Raman spectroscopy, Applied Surface Science, 357, Part A (2016) 615.
• 3) X. Zhang et al.: Retroreflective projection gratings, Optics & Laser Technology, <b>31</b>, 5 (1999) 369.
• 4) Z. Wan et al.: Characteristics and mechanism of top burr formation in slotting microchannels using arrayed thin slotting cutters, 38, 1 (2014) 28.
• 5) J.C. Aurich et al.: Burrs-Analysis, control and removal, CIRP Annals -Manufacturing Technology, 58, 2 (2009) 519.

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細構造体 ,  超精密切削加工 ,  材料除去 ,  メカニズム ,  材料特性 ,  欠陥