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J-GLOBAL ID：201702259309304525   整理番号：17A0118297

二重共鳴構造を持つ広帯域MEMS静電エネルギーハーベスタ【Powered by NICT】

Wideband MEMS electrostatic energy harvester with dual resonant structure

著者 (5件)： Zhang Yulong (Department of Electrical and Electronic Engineering, Southern University of Science and Technology, Shenzhen 518055, China) ,  Luo Anxin (Department of Electrical and Electronic Engineering, Southern University of Science and Technology, Shenzhen 518055, China) ,  Xu Yixin (Department of Electrical and Electronic Engineering, Southern University of Science and Technology, Shenzhen 518055, China) ,  Wang Tianyang (Department of Electrical and Electronic Engineering, Southern University of Science and Technology, Shenzhen 518055, China) ,  Wang Fei (Department of Electrical and Electronic Engineering, Southern University of Science and Technology, Shenzhen 518055, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,面外ギャップ閉鎖方式に基づく二重共鳴構造を持つ広帯域MEMS静電エネルギーハーベスタの設計と試験を提案した。先進MEMS技術を用いて作製し,全体の大きさは約13×18mm~2であり,単一共振周波数を用いる従来のデバイスと比較して,二重共鳴構造をもつ提案したデバイスは,二周波数,低振動振幅で二サブシステム間の強い機械的結合を提供することができたで共鳴することができる。,このデバイスはその二つの共振周波数近傍の広い周波数範囲で振動源から適切な出力を得ることが可能である。試験中に,1.06~3.24pWまで連続出力は141.6Hzから191.1Hzの周波数範囲で9.8m/s~2(1g)の外部振動振幅で達成でき,これはデバイスの帯域幅は中心周波数の約30%であった。ランダム振動試験では,デバイスは良好な性能を示し,ランダム振動源シナリオからのエネルギーハーベスティングのための有望な応用を提供する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  周波数 ,  *広帯域 ,  不規則振動 ,  *MEMS ,  振動振幅 ,  帯域幅 ,  *静電エネルギー ,  *二重共鳴
準シソーラス用語： エネルギーハーベスティング ,  中心周波数 ,  振動源 ,  サブシステム ,  二周波 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 二重共鳴 ,  広帯域 ,  MEMS ,  静電エネルギー ,  ハーベスタ