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J-GLOBAL ID：201702259472756935   整理番号：17A1715700

せん断,引張,およびナノスクラッチ分子動力学シミュレーションを用いたNiとSi基板への超薄多層ダイヤモンド状炭素(DLC)被覆の接着の定量化【Powered by NICT】

Quantifying adhesion of ultra-thin multi-layer DLC coatings to Ni and Si substrates using shear, tension, and nanoscratch molecular dynamics simulations

著者 (2件)： Price Michael R. (Dept. of Mechanical Engineering, University of Utah, Salt Lake City, UT, 84112, USA) ,  Raeymaekers Bart (Dept. of Mechanical Engineering, University of Utah, Salt Lake City, UT, 84112, USA)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 141  ページ： 317-326  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超薄ダイヤモンド状炭素(DLC)被覆は,ハードディスクドライブ,自動車エンジン,およびMEMS/NEMSデバイスを含む多くの工学的応用において使用される摩耗と腐食に対する微妙な基板を保護することである。しかし,それらは高い固有応力と多くの基板への不十分な付着のために脆性亀裂と剥離の影響を受けやすい。中間層を含めることは,被覆の剥離を防ぐことができる。基板にハードディスク駆動に用いられる超薄多層DLC皮膜の密着性に及ぼす被覆層の厚さと組成の影響を定量化するために単純せん断と引張荷重とナノスクラッチ分子動力学シミュレーションを行った。中間Si層がない被覆と比較してNi基板へのDLCコーティングの密着性を改善することを,Si層の最適厚さが存在することを観測した。も最も外側のDLC被覆層よりも低い.~3画分を持つ中間DLC層は,外部荷重下での塑性変形から基板を保護することを,中間層を持つ被覆と比較してないSiではなくNi基板への接着を改善することを見出した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *剪断 ,  *引張 ,  *ケイ素 ,  被覆層 ,  密着性 ,  *計算機シミュレーション ,  MEMS ,  *ニッケル ,  *多層 ,  塑性変形 ,  摩耗 ,  *分子動力学 ,  *被覆
準シソーラス用語： 中間層 ,  *分子動力学シミュレーション ,  *ナノスクラッチ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ引かき ,  分子動力学 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  ハードディスク駆動 ,  超薄膜

分類 (5件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  クラッド材  (WE04020G) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (10件)： せん断 ,  引張 ,  ナノスクラッチ ,  分子動力学シミュレーション ,  Ni ,  Si基板 ,  多層 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  DLC ,  定量化