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J-GLOBAL ID：201702259830276703   整理番号：17A0544641

容量センサを使用したインデックス計量プラットフォームの数学的較正手順

Mathematical calibration procedure of a capacitive sensor-based indexed metrology platform

著者 (6件)： BRAU-AVILA A (Univ. Sonora, Sonora, MEX) ,  SANTOLARIA J (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  ACERO R (Centro Universitario de la Defensa, Zaragoza, ESP) ,  VALENZUELA-GALVAN M (Univ. Sonora, Sonora, MEX) ,  HERRERA-JIMENEZ V M (Univ. Sonora, Sonora, MEX) ,  AGUILAR J J (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 3  ページ： 035008,1-12  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 携帯型座標計測機(PCMM)の検証への応用を目的として,インデックス計量プラットフォーム(IMP)の数学的更生手続きを示す。IMPは,ナノメートル分解能をもつ6台の容量センサおよびターゲットを備え,幾何学的特性とセンサ読み取り値に基づいて較正を行う。PCMMに対する従来の検証手続きにおいて存在する煩雑・効果・長検証時間といった問題を解消する。

シソーラス用語： *計測器 ,  *キャリブレーション
準シソーラス用語： *座標計測 ,  *携帯型計器 ,  *容量センサ ,  *較正

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 容量センサ ,  インデックス ,  計量 ,  プラットフォーム ,  数学 ,  較正 ,  手順