文献

J-GLOBAL ID：201702259896586979   整理番号：17A1289020

フェムト秒レーザアブレーション銅ナノ薄膜に及ぼす薄膜厚さの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Study of Thickness Effects on Copper Films Heated by the Femtosecond Laser

著者 (2件)： Lin Jiajian (浙江大学航空航天学院,杭州,310027) ,  Lei Chunxia (浙江大学航空航天学院,杭州,310027)
資料名： Keji Tongbao  (Keji Tongbao)
巻： 33  号： 1  ページ： 10-13  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3222A  ISSN： 1001-7119  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 銅薄膜の厚さの変化がフェムト秒レーザーアブレーション銅薄膜の過程に及ぼす影響を研究するために、反射率と吸収率の温度変化特性を考慮し、放物線型二温度モデルを用いて、差分法を用いて離散化し、250,500、1000nmの三種類の異なる厚さの銅ナノ薄膜に対して、離散化を行った。100nmのパルス幅と6500のエネルギー密度をもつレーザアブレーションの下で,銅ナノ薄膜の表面温度,格子温度,反射率,融解深さの変化を計算した。計算結果は以下を示す。銅ナノ薄膜の厚さの増加は表面電子温度への影響が顕著でなく、表面格子温度に対する影響が大きく、融解深度が大幅に減少した。アブレーション過程において、薄膜表面の反射率と吸収率は明らかな低下があり、それを定数処理と考えるのは妥当ではない。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アブレーション ,  *薄膜 ,  表面温度 ,  *銅 ,  パルス幅 ,  エネルギー密度 ,  反射率 ,  電子温度 ,  差分法 ,  *レーザアブレーション ,  吸収係数 ,  *ナノシート
準シソーラス用語： 格子温度 ,  離散化 ,  銅薄膜 ,  *ナノ薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： femtosecond laser ,  copper films ,  PTTM ,  transient reflectivity and absorption coefficient

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザアブレーション ,  銅 ,  ナノ薄膜 ,  薄膜 ,  厚さ ,  研究