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J-GLOBAL ID：201702259906100507   整理番号：17A1276914

135dBよりの開ループダイナミックレンジの広帯域,低雑音加速度計【Powered by NICT】

Wideband, low-noise accelerometer with open loop dynamic range of better than 135DB

著者 (5件)： Edalatfar Fatemeh (Integrated Multi-Transducers Laboratory, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Azimi Soheil (Integrated Multi-Transducers Laboratory, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Qureshi Abdul Qader Ahsan (Integrated Multi-Transducers Laboratory, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Yaghootkar Bahareh (Integrated Multi-Transducers Laboratory, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Bahreyni Behraad (Integrated Multi-Transducers Laboratory, Simon Fraser University, Surrey, Canada)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 1187-1190  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 騒音レベル350ng/Hzの,帯域幅4.5kHz,1Hz帯域幅で135dBオープンループダイナミックレンジをもつ高性能容量性加速度計を報告した。加速度計は,モードの修飾構造プラットフォームを設計した。このプラットフォームは低雑音容量面内加速度計の感度と帯域幅の問題を解決するために開発した。プラットフォーム移動フレームを用いた加速度計のプルーフマスを置換することを提案した。さらに,弾性要素とアンカーポイントは運動系外部の両方に存在する。そのようなものとして,モードの修飾構造プラットフォームは,より高い帯域幅を獲得するための加速度計の共振周波数とモード形状の調整に寄与した。提案したプラットホームはまた移動フレームの内側と外側に位置するセンシング要素の数を増加させることにより感度の問題を検討した。著者らの知識の及ぶ限りでは,MEMS加速度計は,高い性能指標の組み合わせを提供することができた,高性能加速度計を開発するためのこのプラットフォーム実行可能な候補としない。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 騒音レベル ,  共振周波数 ,  *広帯域 ,  帯域幅 ,  *加速度計 ,  弾性 ,  MEMS
準シソーラス用語： 性能指標 ,  振動モード形 ,  *低雑音 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 開ループ ,  ダイナミックレンジ ,  広帯域 ,  低雑音 ,  加速度計