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J-GLOBAL ID：201702259944777868   整理番号：17A1623892

準安定固溶体銅-タングステン膜の微細構造と機械的性質【Powered by NICT】

Microstructure and mechanical properties of metastable solid solution copper-tungsten films

著者 (9件)： Thomas K. (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, Switzerland) ,  Taylor A.A. (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, Switzerland) ,  Taylor A.A. (Materials Department, University of California Santa Barbara, 93106, USA) ,  Raghavan R. (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, Switzerland) ,  Raghavan R. (Materials Department, University of California Santa Barbara, 93106, USA) ,  Chawla V. (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, Switzerland) ,  Chawla V. (CSIR-Central Scientific Instruments Organisation, Sector 30-C, Chandigarh 160030, India) ,  Spolenak R. (Laboratory for Nanometallurgy, Department of Materials, ETH Zurich, Vladimir-Prelog-Weg 5, CH-8093 Zurich, Switzerland) ,  Michler J. (Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures, Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, Switzerland)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 642  ページ： 82-89  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 用いて準安定銅-タングステン固溶体の微細構造と機械的性質を研究するためにコンビナトリアル科学的アプローチ。横方向組成勾配(組成広がりと呼ばれる)試料は,シリコン基板の反対側末端での斜め配置銅とタングステンターゲットを同時スパッタリングにより堆積した。膜の化学組成はその長さ12から45原子%への銅に沿って連続的に変化し,1μmの公称厚みを持っていた。ナノ押込みにより,膜の硬度と弾性率を測定した。粒径と固溶体強化モデルは,膜の硬度を解釈するために適用し,混合物の単純な規則はデータに満足すべきあてはめを与えることが判明した。膜の弾性係数は複合則によって予測されるより一貫してである。X線回折はVegardの法則により予測されるそれよりも少ない面間隔と強化された長距離秩序を示す三種の化学組成を明らかにした。透過型電子顕微鏡解析は,格子間隔と粒径は化学組成に依存する膜は単一の準安定体心立方固溶体から構成されていることを確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *固溶体 ,  スパッタリング ,  硬度 ,  弾性係数 ,  長範囲規則度 ,  ナノインデンテーション ,  *機械的性質 ,  *銅 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *微細構造 ,  粒径 ,  X線回折 ,  化学組成 ,  面間隔
準シソーラス用語： 同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 準安定相 ,  ナノ結晶ナノ構造 ,  ナノインデンテーション ,  X線回折 ,  銅 ,  タングステン ,  スパッタリング

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 固溶体 ,  銅 ,  タングステン ,  微細構造 ,  機械的性質