抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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本稿では,最近の表面測定システムに関する技術トレンド,課題,対応策等について紹介した。ダイヤモンドチップのスタイラスシステムにはスキッドとスキッドレスの2種類のタイプがあり,前者は高周波表面粗さの簡単な測定に最適で,後者は,低周波リップルやうねり,表面プロファイルの測定に適している。設計した表面が厳密な仕様を満たしているかを確認するためには,表面仕上げの専門家でなければならない。操作者は基本を理解できない場合でも,表面が仕様を満たしていると考える。これに対応して,可能な限り自動化されたユニットが提供されている。その例として,スマートフォンに似たディスプレイを備えたハンドヘルドユニットである新しいPS10がある。統計的プロセスコントロール(SPC)計算での表面測定法に関して注意点がある。一般的なSPCパラメータの計算は,平均的には正規分布し安定しているデータに依存するため,プロファイルや粗さなどの表面測定には適用できない可能性がある。この問題に対応して,任意のデータセットに対して最適な分布モデルを見つけ,それを品質報告に使用できるQ-DAS統計ソフトウェアパッケージがある。スタイラスシステムは単一の線での測定であるが,光学的測定システムは,より高速なスキャン時間,面積を提供する大きなデータセット及び非接触で部品の表面を変形または傷つけない利点がある。レーザーではなく白色光源を備え,表面の3Dトポグラフィマップを生成するコヒーレンススキャン干渉法に基づいた製品がある。非接触スキャンは,付加製造技術で製作した面の測定やパワートレインでの対象とするすべての面での測定など多くの製造アプリケーションで重要になっている。顧客は,使い易いハードウェア及びより高速なデータ収集を求めている。非接触表面システムは接触式スタイラスシステムに比べて一般的に高価であるが,より高速なデーダ収集,表面を傷つけないという利点がある。また,スタイラスでは,非常に微細な粗さ構造の測定では問題となるが,非接触システムでは,400nmのスポットサイズのレーザーを使用して対応している。RaやRq等のパラメータの正確な測定は重要である一方,局所的欠陥を見るハンドヘルド表面ゲージがニッチに使われている。スキャンデバイスではないことからハンドヘルドゲージを特に店舗の設定で役立つ。カメラに取り付けた直線偏光フィルタを利用して瞬時に取得し,単一の画像キャプチャにより,ノイズや振動に影響されないので,ロバストで柔軟性がある。
