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J-GLOBAL ID：201702260185193807   整理番号：17A0366237

レーザ化学蒸着によるNa-β/β′′-アルミナ膜の形成に及ぼすLi添加の影響【Powered by NICT】

Effect of Li addition on the formation of Na-β/β′′-alumina film by laser chemical vapor deposition

著者 (4件)： Chi Chen (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Chi Chen (Key Laboratory for green chemical process of ministry of education, chemical engineering and pharmacy, Wuhan Institute of Technology, 430070 China) ,  Katsui Hirokazu (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Goto Takashi (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 1 PB  ページ： 1278-1283  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Naβおよびβ′′アルミナ(β/β′′-アルミナ)の混合物から成る膜は,Liの添加によるレーザ化学蒸着(CVD)により調製した。β/β′′-アルミナ膜の相形成,微細構造および堆積速度に及ぼすLi源ガスの影響を調べた。Na-β/β′′-アルミナ膜が,1100 1220Kの蒸着温度(T)範囲内で0.1 1.0のLi/Al前駆体供給比(R Li/Al)で形成された。Na-β/β′′-アルミナ相はT科=1165 1185KとR Li/Al=0.1 0.5で形成されたのみであったが,αAl_2O_3(少量LiAlO_2とLiAl_5O_8)は主にT科>1223KとR Li/Al>1.0で観察された。Na-β/β′′-アルミナ膜は柱状断面を持ついくつかの百ナノメートルの大きさの多角形ファセットで構成されていた。Na-β/β′′-アルミナ膜の堆積速度は60μmh~( 1)であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 前駆体 ,  微細構造 ,  小規模 ,  *アルミナ ,  堆積速度 ,  ファセット ,  *リチウム
準シソーラス用語： 蒸着温度 ,  相形成 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ベータアルミナ ,  レーザ化学蒸着 ,  Microstructure ,  低蒸着温度 ,  Stabilization

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ化学蒸着 ,  Na ,  アルミナ膜 ,  Li