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J-GLOBAL ID：201702260189093506   整理番号：17A1090463

ラインエッジ粗さのマルチテーパ及びマルチセグメントスペクトル推定

Multitaper and Multisegment Spectral Estimation of Line-Edge Roughness

著者 (2件)： LUO Yao (Texas A&M Univ., TX, USA) ,  SAVARI Serap A. (Texas A&M Univ., TX, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.1  ページ： 1014510.1-1014510.16  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ラインエッジ粗さ(LER)の推定に用いられている手法は不確実性を低減するが,多くの測定値を集める必要がある。本研究では,他の分野で広く適用されている別の方法を提案した。この方法は計算の複雑さを犠牲にして,現在の手法よりもLERパワースペクトル推定の不確実性と必要な必要量を同時に低減する。マルチテーパスペクトル解析はデータの窓関数またはテーパの直交収集を用いて,統計的にほぼ独立したスペクトル推定値の集合を得る。Welchオーバラップセグメント平均化はパワースペクトル推定値の不確実性を低減する初期の手法である。Thorsos法を用いてランダムな粗線をシミュレーションした。

シソーラス用語： *表面粗さ ,  *スペクトル推定 ,  不確実性 ,  窓関数 ,  計算機シミュレーション ,  *パワースペクトル ,  時系列分析 ,  SN比 ,  標準偏差
準シソーラス用語： *ラインエッジ粗さ ,  ペリオドグラム

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： ラインエッジ粗さ ,  マルチ ,  テーパ ,  推定