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J-GLOBAL ID：201702260363860614   整理番号：17A1093580

フェムト秒レーザ表面処理による凝集ナノ粒子球の形成【Powered by NICT】

Formation of aggregated nanoparticle spheres through femtosecond laser surface processing

著者 (7件)： Tsubaki Alfred T. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Koten Mark A. (Department of Mechanical and Material Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Lucis Michael J. (Department of Mechanical and Material Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Zuhlke Craig (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Ianno Natale (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Shield Jeffrey E. (Department of Mechanical and Material Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA) ,  Alexander Dennis R. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Nebraska-Lincoln, 844 N 16th St, Lincoln, NE 68588, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 419  ページ： 778-787  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 凝集したナノ粒子球(AN球)と呼ばれる,クラス自己組織化表面構造のシリコン,炭化ケイ素,およびアルミニウム上のフェムト秒レーザ表面処理(FLSP)を用いて作製の詳細な構造と化学分析は,この論文で報告した。球は直径が20~100μm球状微細構造であり,材料のフェムト秒レーザアブレーション中に生成したナノ粒子の完全に構成されていた。球はレーザビームの多重パス上のナノ粒子層のビルドアップに起因するタマネギ状層形態を有していた。球の材料特性と化学組成を走査電子顕微鏡(SEM),集束イオンビーム(FIB)ミリング,透過型電子顕微鏡(TEM),およびエネルギー分散X線分光法(EDX)分析に基づいて,本論文で提示した。の球のタマネギ状形態の同心環の間のナノ粒子の密度の明瞭な差異がある。レーザ焼結ナノ粒子が共存した時に高密度型の層とナノ粒子は再時低密度層が形成されるが,レーザはAN球を囲む領域を除去する。フェムト秒レーザアブレーションの動的性質は,Si/Cコア-シェル,母材から直接破砕されていることをナノ粒子,酸化を遅らせることを炭素シェルを持つナノ粒子,および非晶質で完全に酸化されたナノ粒子を含むの球を補給するナノ粒子の多様性を生成する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： エネルギー分散X線分光分析 ,  ケイ素 ,  走査電子顕微鏡 ,  微細構造 ,  *ナノ粒子 ,  *フェムト秒レーザ ,  炭化ケイ素 ,  *フェムト秒 ,  アルミニウム ,  透過型電子顕微鏡 ,  レーザビーム ,  表面構造 ,  化学組成 ,  *凝集 ,  非晶質

著者キーワード (5件)： フェムト秒レーザ ,  レーザ処理 ,  オニオン状 ,  コア-シェル ,  ナノ粒子凝集体

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザ ,  表面処理 ,  凝集 ,  ナノ粒子