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J-GLOBAL ID：201702260426801451   整理番号：17A1693881

歪み勾配弾性を用いた最初から曲げられた浅いナノビームのサイズ依存非対称座屈

Size-dependent asymmetric buckling of initially curved shallow nano-beam using strain gradient elasticity

著者 (1件)： RAAHEMIFAR Kaamran (Ryerson Univ., ON, CAN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 10  ページ： 4567-4578  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,様々な研究グループによって,マイクロ/ナノ電気機械システム(M/NEMS)の構築における,最初から曲がった(アーチ状の)浅い梁要素の実装が報告されている。メモリ,センサ,スイッチ,バンドパスフィルタなどの特定のアプリケーションは,アーチビーム要素を備えたM/NEMS分野での研究の成長を促した。本稿では,サイズ効果を取り込むことができる連続理論であるひずみ勾配理論によりモデル化された,静電作動最初から湾曲したストレスのない浅いナノビームにおける,対称および非対称非線形挙動のサイズ依存性を調べた。この目的のために,歪み勾配理論によって与えられる偏微分方程式にGalerkin投影法を適用することによって,2自由度モデルを導出した。得られた縮小次数モデルは,ビームの第1の対称および非対称モード形状からなり,ビームの不安定性およびサイズ依存性を考慮することができた。得られた縮小次数モデルの平衡点の分岐図を使用して,DC電圧パラメータのクリティカルなサイズに依存する,スナップスルー,リリースおよびプルイン値を取得した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *梁 ,  *勾配 ,  座屈 ,  *Galerkin法 ,  依存性
準シソーラス用語： *NEMSデバイス ,  *歪勾配 ,  サイズ依存性

分類 (3件)： 混成集積回路  (NC03163K) ,  梁,桁  (HD03020H) ,  材料試験  (HB02020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 歪み勾配 ,  弾性 ,  ナノビーム ,  サイズ