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J-GLOBAL ID：201702260441108468   整理番号：17A0697609

レーザ微小穴あけにおけるプラズマ特性のための診断ツールとしての自己混合干渉法【Powered by NICT】

Self-mixing interferometry as a diagnostics tool for plasma characteristics in laser microdrilling

著者 (4件)： Colombo Paolo (Department of Mechanical Engineering, Politecnico di Milano, Via La Masa 1, 20156 Milan, Italy) ,  Demir Ali Gokhan (Department of Mechanical Engineering, Politecnico di Milano, Via La Masa 1, 20156 Milan, Italy) ,  Norgia Michele (Department of Electronics, Information and Bioengineering, Politecnico di Milano, Via Ponzio 34/5, 20133 Milan, Italy) ,  Previtali Barbara (Department of Mechanical Engineering, Politecnico di Milano, Via La Masa 1, 20156 Milan, Italy)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 92  ページ： 17-28  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,自己混合干渉法(SMI)を用いて,アブレーションプラズマとプルームにより誘起された光路差をモニターした。レーザ微細穴あけ時のSMIにおける縞出現を説明する解析的関係を開発した。モニタリング原理は低nsグリーンファイバレーザによるTiAlNセラミックコーティングのレーザマイクロドリリングの大規模実験で試験した。重要なプロセスパラメータ,すなわちパルスエネルギー,数と繰返し速度を変化させた。SMI信号特性に及ぼす側ガスの影響を解析した。レーザ誘起絶縁破壊分光法(LIBS)を用いて,プラズマ温度と電子数密度を同定することであった。SMI信号は分光法により推定されたプロセスパラメータと同様に,電子数密度の関数としてプルームの大きさとその発生に相関していた。提案した新しい方法の有効性を立証することに加えて,結果は,低nsパルスによるセラミック材料のマイクロマシニングへの洞察を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *干渉測定 ,  数密度 ,  セラミック被覆 ,  *レーザ ,  マイクロマシニング ,  信号特性 ,  プルーム ,  スペクトロスコピー ,  プロセスパラメータ ,  *穴あけ ,  パルス ,  プラズマ温度 ,  セラミック
準シソーラス用語： レーザ誘起絶縁破壊分光法 ,  繰返し速度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： プロセスモニタリング ,  プラズマ温度 ,  爆発波の理論 ,  レーザマイクロドリリング ,  Ablation

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ ,  微小 ,  穴あけ ,  プラズマ特性 ,  診断 ,  ツール ,  自己 ,  干渉法